中北大學《Microsystems & Nanoengineering》：PμSL 3D打印助力MEMS仿生矢量水聽器的製備

         近日，受水母聽石結構對超低頻聲信號響應靈敏的啟發，中北大學王任鑫副教授、張文棟教授課題組開發了一種新穎的壓阻式仿生矢量水聽器（OVH），其核心敏感結構為頂端集成空心球體的仿生纖毛（密閉中空球外徑1mm，內徑530 μm，直桿粗350μm，高3.5mm），基於摩方精密PμSL 3D打印技術（nanoArch P130，光學精度2μm)製備而成。OVH接收靈敏度達-202.1 dB@100 Hz(0 dB@1 V/μPa)，工作頻帶為20-200Hz，OVH的平均等效聲壓靈敏度達到-173.8 dB，能耐10 MPa靜水壓力，顯示出OVH在低頻水聲探測的應用潛力。該成果以“Design and implementation of a jellyfish otolith-i nspired MEMS vector hydrophone for low-frequency detection”為題發表在Microsystems & Nanoengineering上。